2017年新春伊始，江蘇微導納米裝備科技有限公司專門為新型高效太陽能電池量身打造的，完全具有自主知識產(chǎn)權(quán)的ALD原子層沉積薄膜鈍化技術(shù)就傳來了令人振奮的好消息。經(jīng)過4個月的晝夜奮戰(zhàn)，經(jīng)過此技術(shù)鈍化的電池在客戶端獲得了接近22%的最高轉(zhuǎn)化效率和21.7%的平均轉(zhuǎn)化效率，其它各項指標也均創(chuàng)造了此類型電池的世界新高!

隸屬于無錫先導集團的江蘇微導納米裝備科技有限公司是一家年輕的科技公司，致力于為國內(nèi)外的高科技行業(yè)提供最新最可靠的生產(chǎn)設備和解決方案。其中專門為新型高效太陽能電池的表面鈍化所開發(fā)的原子層沉積技術(shù)，在不到一年的時間內(nèi)就完成了從技術(shù)評估、設計定案、機械和工藝驗證，直到完成最終的客戶應用評估等工作，而支撐這一切從無到有的核心便是其背后強大的技術(shù)團隊。我們從芬蘭、新加坡引進博士團隊，加上中科大等國內(nèi)名校畢業(yè)的博士、碩士，其中數(shù)人更是獲得了江蘇省雙創(chuàng)人才項目的技術(shù)專家，是真正具有高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗的團隊。

這次開發(fā)的用于太陽能電池表面鈍化的設備經(jīng)過數(shù)輪的技術(shù)攻關(guān)，單批次的硅片裝載量達到了驚人的1600片，同時可以保持片內(nèi)、片間的薄膜均勻性在2%以內(nèi)，電池電學性能幾乎一致的優(yōu)異表現(xiàn)。在整機產(chǎn)能達到每小時4000片以上的前提下，可以有效的降低昂貴化學反應源的耗量，深度集成的自動化上下料確保了0.05%以下的碎片率，極大的降低了實際使用成本。其最核心的ALD原子層沉積工藝可以在薄膜厚度低至2納米時依舊對電池表面提供良好的鈍化，這是其它技術(shù)從原理上就無法達到的條件，在核心技術(shù)上達到了國際第一梯隊的領(lǐng)先水平。

原子層沉積(AtomicLayer Deposition，ALD)技術(shù)是在納米技術(shù)領(lǐng)域及其它多個重要產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中的一項具有前瞻與共性的新興關(guān)鍵技術(shù)。現(xiàn)有的ALD量產(chǎn)技術(shù)都被國外的設備大廠如ASM、AMAT、TEL等壟斷。微導正在開展的ALD設備產(chǎn)品技術(shù)性能達到國際領(lǐng)先水平，打破國外壟斷，填補了國內(nèi)空白。同時，ALD關(guān)鍵技術(shù)的成功攻關(guān)，將促進多個工業(yè)領(lǐng)域包括半導體、CMOS圖像傳感器、LED、MEMS、顯示器、光伏和鋰離子電池的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。據(jù)悉，微導公司的《基于原子層沉積(ALD)技術(shù)的微納器件制造關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)》項目，還入選了“2016年江蘇省重點研發(fā)計劃(產(chǎn)業(yè)前瞻與共性關(guān)鍵技術(shù))項目”。

在不斷增加的高效率、低成本晶硅太陽能電池市場需求驅(qū)動下,微導為單、多晶高效太陽能電池技術(shù)提供高性能ALD鈍化和RIE干法制絨生產(chǎn)解決方案。與傳統(tǒng)的鋁背場電池相比，微導光伏技術(shù)適用于多種高效晶硅太陽能電池生產(chǎn)線的新建、改造和升級,可以將太陽能電池轉(zhuǎn)換效率進一步提升1%以上。

微導RIE黑硅與ALD背鈍化技術(shù)的結(jié)合，為晶硅太陽能電池效率突破、降低成本提供最佳量產(chǎn)方案。